一、研究方向
(1) 智能传感:传感机理和器件、新型传感电路、微系统集成和应用
(2) 集成电路:射频EDA、射频芯片设计、先进互连及集成技术
(3) 微纳器件:纳米尺度器件、后摩尔时代新器件
二、代表性成果
(1) 发明了新型MEMS热质量流量芯片并将其实用化,开发出多个系列用于各类气体及微流体的流量和浓度的计量和测控的产品,并作为主要单位起草国家标准GB/T 20727-2006《热式质量流量计》,为传统流体计量带来了根本性变革,所研发的流量计等产品均已批量生产,产值上亿元。
(2) 国际小波电磁计算方法的开拓者,将边界元法用于芯片参数提取的先驱,基于国际上最快的电磁计算引擎,开发出商用射频芯片EDA工具。